為確保傳感器精度和性能的長期穩(wěn)定性,消除彈性元件在機(jī)械加工和熱處理中產(chǎn)生的殘余內(nèi)應(yīng)力是十分重要的。消除彈性元件殘余內(nèi)應(yīng)力的方法很多,通常有一下幾種:
�。�1)時(shí)效。最有效的辦法是長期自然時(shí)效(加工后放置半年、一年或更長的時(shí)間);也可采用加溫(100~200°C)存放(數(shù)十至數(shù)百小時(shí))的人工時(shí)效方法,以加速穩(wěn)定的過程。 �。�2)退火。由于退火溫度較高(比回火溫度要稍低),保溫時(shí)間較長,效果比較明顯。 (3)反復(fù)加載和機(jī)械振動(dòng)。采用反復(fù)加載和機(jī)械振動(dòng)的辦法,有利于內(nèi)應(yīng)力的加速釋放。特別是在應(yīng)變式光電開關(guān)元件敏感器中,在貼片后進(jìn)行疲勞加載,有利于改善光電開關(guān)元件敏感器的性能。在需要考慮應(yīng)變計(jì)的壽命時(shí),可以在貼片前適當(dāng)增加疲勞次數(shù),而貼片后適當(dāng)減少疲勞加載次數(shù)。 �。�4)冷處理。該方法是建立在使光電元件淬火后材料中的剩余奧氏體轉(zhuǎn)變?yōu)轳R氏體基礎(chǔ)上的一種阻值穩(wěn)定的處理。一般是在淬火、第一次回火后,冷卻到60度時(shí)放入低溫環(huán)境中進(jìn)行保溫處理。 一般光電開關(guān)元件敏感材料的淬火溫度約為850°C(油冷),回火溫度在400~500°C,硬度為HRC34~48。
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